Ngày 18/6/2026, tại trụ sở Viện Đổi mới Sáng tạo Quốc gia (NACENTECH), Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến đã có buổi làm việc với đoàn chuyên gia Hàn Quốc và đại diện Công ty Planck Lab nhằm trao đổi về nền tảng quang khắc không mặt nạ LITHO MASKLESS, phục vụ nghiên cứu, đào tạo và vi chế tạo trong lĩnh vực bán dẫn.
Hoạt động này nằm trong định hướng của NACENTECH về tiếp cận công nghệ bán dẫn tiên tiến, kết nối chuyên gia quốc tế và đánh giá khả năng triển khai các thiết bị phục vụ nghiên cứu – đào tạo bán dẫn tại Việt Nam. Đây cũng là nội dung phù hợp với định hướng của Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến trong việc phát triển hạ tầng kỹ thuật, thử nghiệm công nghệ và thương mại hóa các sản phẩm, thiết bị công nghệ cao.
Planck Lab và nền tảng LITHO MASKLESS
Planck Lab là doanh nghiệp công nghệ Hàn Quốc phát triển các giải pháp quang khắc không mặt nạ và vi chế tạo quy mô nhỏ. Công nghệ của Planck Lab hướng tới các môi trường nghiên cứu, đào tạo và chế tạo thử trong lĩnh vực bán dẫn, MEMS, hiển thị, microfluidics và các ứng dụng vi mô khác.
Sản phẩm trọng tâm được giới thiệu tại buổi làm việc là LITHO MASKLESS: nền tảng quang khắc số không mặt nạ, có thể tích hợp với kính hiển vi quang học thương mại để hỗ trợ tạo mẫu vi cấu trúc. Khác với phương pháp quang khắc truyền thống cần photomask vật lý, LITHO MASKLESS sử dụng ảnh số và mô-đun phơi sáng kỹ thuật số để tạo pattern trực tiếp trên bề mặt mẫu.
Cách tiếp cận này phù hợp với phòng thí nghiệm, cơ sở đào tạo và nhóm nghiên cứu cần thử nghiệm nhiều thiết kế nhỏ, thay đổi nhanh và tối ưu chi phí. Đây không phải là dây chuyền sản xuất chip thương mại đại trà, mà là thiết bị hỗ trợ nghiên cứu, đào tạo và vi chế tạo bán dẫn ở giai đoạn thực hành, thử nghiệm và tạo mẫu.
Trình diễn công nghệ quang khắc không mặt nạ
Tại buổi làm việc, chuyên gia Hàn Quốc đã trình diễn thiết bị và thao tác kỹ thuật liên quan đến nền tảng LITHO MASKLESS. Đại diện Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến đã trực tiếp quan sát cách hệ thống vận hành, cách hình ảnh số được sử dụng như “mặt nạ số” và cách thiết bị hỗ trợ tạo mẫu vi cấu trúc trong điều kiện phòng thí nghiệm.
Một điểm đáng chú ý của giải pháp này là khả năng sử dụng các định dạng ảnh thông thường như PNG, JPG, BMP để tạo mẫu phơi sáng. Điều này giúp quá trình thử nghiệm thiết kế trở nên linh hoạt hơn, giảm thời gian chuẩn bị photomask và phù hợp với các nhóm nghiên cứu cần kiểm chứng ý tưởng nhanh.
Theo thông tin từ Planck Lab, hệ thống LITHO MASKLESS sử dụng công nghệ DMD, nguồn sáng UV và hệ kính hiển vi đứng, có khả năng tạo mẫu ở độ phân giải micron. Thiết bị có thiết kế dạng mô-đun, nhỏ gọn, phù hợp với không gian phòng lab và có thể hỗ trợ nhiều cấu hình kính hiển vi khác nhau.
Hình ảnh buổi làm việc giữa Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến và đoàn chuyên gia Hàn Quốc tại NACENTECH
(Nguồn: Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến)
Giá trị đối với nghiên cứu và đào tạo bán dẫn
Trong lĩnh vực bán dẫn, hạ tầng thực hành là một trong những điều kiện quan trọng để đào tạo nhân lực và phát triển năng lực nghiên cứu. Tuy nhiên, các thiết bị quang khắc truyền thống thường có chi phí đầu tư lớn, yêu cầu phòng sạch chuyên biệt và quy trình vận hành phức tạp. Điều này tạo ra rào cản cho nhiều trường đại học, viện nghiên cứu và đơn vị đào tạo khi muốn triển khai thực hành bán dẫn ở giai đoạn đầu.
Giải pháp quang khắc không mặt nạ của Planck Lab có thể góp phần giảm một phần rào cản này. Với thiết kế nhỏ gọn, quy trình vận hành linh hoạt và khả năng thay đổi thiết kế nhanh bằng ảnh số, thiết bị phù hợp với các hoạt động:
- đào tạo thực hành bán dẫn trong trường đại học, viện nghiên cứu và trung tâm đào tạo;
- tạo mẫu nhanh phục vụ nghiên cứu vật liệu, vi điện tử, MEMS và microfluidics;
- thử nghiệm thiết kế vi cấu trúc ở quy mô nhỏ;
- hỗ trợ nhóm nghiên cứu kiểm chứng ý tưởng trước khi tiếp cận hạ tầng sản xuất phức tạp hơn;
- xây dựng các mô-đun thực hành cho chương trình đào tạo nhân lực bán dẫn.
Đây là hướng tiếp cận phù hợp trong bối cảnh Việt Nam đang đẩy mạnh phát triển nguồn nhân lực bán dẫn, đồng thời cần mở rộng hạ tầng thực hành cho các cơ sở đào tạo, viện nghiên cứu và trung tâm công nghệ.
Gắn với định hướng của Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến
Theo định hướng trong Đề án thành lập mới Công ty Cổ phần Thiết bị Công nghệ Tiên tiến, Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến hướng tới việc hình thành doanh nghiệp khoa học và công nghệ để thương mại hóa các kết quả nghiên cứu, thiết bị mẫu và sản phẩm công nghệ cao. Đề án cũng nhấn mạnh việc khai thác hiệu quả hạ tầng kỹ thuật tại C6 Thanh Xuân và cơ sở Hòa Lạc, phục vụ nghiên cứu, lắp ráp mẫu, thử nghiệm, trưng bày sản phẩm và đào tạo.
Trong danh mục định hướng sản phẩm và dịch vụ, Đề án đề cập đến nhiều nhóm công nghệ như laser, nông nghiệp công nghệ cao, định vị – giám sát, quang điện tử, sinh học thực nghiệm, vật liệu, thiết bị tương lai và dịch vụ đào tạo. Trong đó, đào tạo bán dẫn là một nội dung quan trọng, hướng tới giảng viên, nghiên cứu viên, sinh viên, nghiên cứu sinh và các nhóm đối tượng cần tiếp cận kiến thức, kỹ năng thực hành trong lĩnh vực bán dẫn.
Từ góc độ này, việc làm việc với Planck Lab mở ra khả năng nghiên cứu một giải pháp thiết bị phù hợp cho đào tạo và R&D bán dẫn. LITHO MASKLESS có thể được xem xét như một công cụ thực hành giúp người học và nhóm nghiên cứu hiểu trực quan hơn về quy trình quang khắc, tạo pattern và vi chế tạo ở quy mô phòng lab.
Tiềm năng ứng dụng tại Việt Nam
Trên cơ sở phần trình diễn và trao đổi kỹ thuật, NACENTECH và Planck Lab đã thảo luận một số hướng ứng dụng tiềm năng tại Việt Nam.
Trước hết, hai bên đánh giá thiết bị quang khắc không mặt nạ có thể hỗ trợ đào tạo nhân lực bán dẫn. Giải pháp này có thể được nghiên cứu như một phần của mô hình phòng lab đào tạo, giúp sinh viên, học viên và nghiên cứu viên tiếp cận các thao tác thực hành trong quy trình bán dẫn mà chưa cần đầu tư ngay hệ thống phòng sạch quy mô lớn.
Bên cạnh đó, thiết bị có thể phục vụ hoạt động nghiên cứu và phát triển trong phòng lab. Các nhóm nghiên cứu về vật liệu mới, vi điện tử, MEMS, microfluidics, silicon photonics hoặc display có thể sử dụng hệ thống để thử nghiệm thiết kế, tạo mẫu nhỏ và kiểm chứng ý tưởng trong thời gian ngắn hơn.
Ngoài ra, giải pháp của Planck Lab có thể hỗ trợ xây dựng hạ tầng R&D bán dẫn ở giai đoạn đầu. Đối với các đơn vị chưa có đầy đủ điều kiện đầu tư dây chuyền phức tạp, thiết bị quang khắc không mặt nạ có thể là lựa chọn phù hợp để bắt đầu triển khai nghiên cứu ứng dụng và đào tạo thực hành.
Thông qua hoạt động phối hợp với đối tác Hàn Quốc, NACENTECH cũng có thêm cơ sở để đánh giá khả năng đưa công nghệ phù hợp vào các chương trình đào tạo, chuyển giao và phát triển năng lực bán dẫn tại Việt Nam.
Vai trò của Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến
Trong hoạt động phối hợp này, Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến đóng vai trò đầu mối chuyên môn của NACENTECH trong tiếp nhận, đánh giá và đề xuất phương án thử nghiệm công nghệ. Vai trò của Viện không chỉ dừng ở kết nối đối tác, mà còn nằm ở khả năng phân tích yêu cầu kỹ thuật, xác định bài toán ứng dụng và đánh giá mức độ phù hợp của giải pháp với điều kiện triển khai tại Việt Nam.
Cụ thể, Viện có thể tham gia ở các nhóm công việc sau:
- đánh giá khả năng ứng dụng của thiết bị quang khắc không mặt nạ trong đào tạo và R&D bán dẫn;
- xác định các cơ sở đào tạo, viện nghiên cứu hoặc phòng lab có nhu cầu phù hợp;
- nghiên cứu phương án thử nghiệm thiết bị trong các nhiệm vụ khoa học – công nghệ liên quan;
- kết nối Planck Lab với các đối tác trong hệ sinh thái bán dẫn, giáo dục và nghiên cứu tại Việt Nam;
- đề xuất lộ trình hợp tác, chuyển giao, đào tạo vận hành và thương mại hóa phù hợp.
Cách tiếp cận này phù hợp với định hướng của NACENTECH trong việc trở thành đầu mối kết nối nguồn lực công nghệ trong nước và quốc tế, đồng thời thúc đẩy thử nghiệm, nội địa hóa và thương mại hóa các giải pháp công nghệ có khả năng ứng dụng thực tiễn.
Định hướng phối hợp tiếp theo
Trong thời gian tới, NACENTECH và Planck Lab dự kiến tiếp tục trao đổi về phương án phối hợp cụ thể, bao gồm đánh giá nhu cầu tại Việt Nam, xác định các cơ sở có khả năng tham gia thử nghiệm, nghiên cứu cấu hình thiết bị phù hợp và xây dựng phương án đào tạo vận hành.
Các nội dung tiếp theo có thể tập trung vào việc tổ chức trình diễn công nghệ chuyên sâu, thiết kế mô hình phòng lab đào tạo bán dẫn, kết nối với trường đại học, viện nghiên cứu và đối tác công nghiệp, đồng thời xem xét khả năng hình thành khuôn khổ hợp tác dài hạn trong lĩnh vực vi chế tạo bán dẫn.
Thông qua hoạt động này, Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến có thêm cơ sở để đánh giá tính phù hợp của nền tảng LITHO MASKLESS trong điều kiện Việt Nam, từ đó đề xuất hướng triển khai thiết thực hơn cho các chương trình phát triển năng lực bán dẫn.
Thúc đẩy tiếp cận công nghệ vi chế tạo bán dẫn
Hoạt động làm việc giữa Viện Phát triển Công nghệ Tiên tiến và Planck Lab là bước khởi đầu quan trọng trong việc tiếp cận các giải pháp quang khắc không mặt nạ phục vụ nghiên cứu, đào tạo và vi chế tạo bán dẫn. Đây là hướng tiếp cận thiết bị nền tảng, giúp các cơ sở nghiên cứu và đào tạo có thêm công cụ thực hành, thử nghiệm và phát triển năng lực công nghệ.
Trong bối cảnh bán dẫn đang trở thành lĩnh vực công nghệ chiến lược, việc chủ động kết nối với các đối tác quốc tế, đánh giá công nghệ phù hợp và xây dựng hạ tầng thực hành là hướng đi thiết thực. Qua đó, NACENTECH tiếp tục khẳng định vai trò là đầu mối kết nối, thử nghiệm và thúc đẩy thương mại hóa công nghệ, góp phần phát triển hệ sinh thái đổi mới sáng tạo và công nghệ cao tại Việt Nam.